Nano探针式表面轮廓仪
Nano探针式表面轮廓仪也称为台阶仪，其设计创新，实现了更高的重复性和分辨率，垂直高度重复性高达5Å。这项测量性能的提高，达到了过去四十年Nano体系技术创新的顶峰，更加稳固了其行业中的领先地位。不论应用于研发还是产品测量，在研究工作中的广泛使用使得Nano的功能更强大，操作更简便易行，检测过程和数据采集也更加完善。第十代Nano台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
Nano探针式表面轮廓仪技术参数
- 测量技术：探针式表面轮廓测量技术(接触模式)
- 探针传感器：低惯量传感器(LIS3)探针作用力，LIS3传感器中1到15mg低作用
- 力模式：N-Lite+低作用力0.03到15mg
- 探针选项：探针曲率半径50nmto25μm
- 高径比针尖(HAR)10μm*2μmand200μm*20μm;
- 扫描长度范围：55mm(2英寸)
- 单次扫描数据采集点：最大120,000
- 最大样品厚度：50mm(2英寸)
- 最大晶片尺寸：200mm(8英寸)
- 台阶高度重复性：<5埃米,测量0.1μm台阶高度标准偏差
- 垂直方向扫描范围：1mm(0.039英寸)
Nano探针式表面轮廓仪技术特点
- Nano的单拱龙门设计和智能敏化器件联用，降低基底噪音，提高测量性能。
- Nano独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。
- Nano采用Bruker64位数据采集及同步分析的软件系统Vision64，可以将大范围3D形貌图的扫描和处理速度提高一倍。
- Nano具有最迅速简便的针尖更换方案，提供各种规格的针尖，尽可能满足所有应用的需求。
- Nano使用Vision64操作分析软件，提高数据采集和分析速度。
- 具有先进的3D形貌图像扫描和分析模式。
Nano表面轮廓仪的测量应用
| 序号 | 表面参数测量 | 测量详细描述 |
| 1 |
薄膜监测—高效率的保证
|
对于半导体制造行业而言，及时监测镀膜膜厚和刻蚀速率的均匀性以及薄膜应力，能节省宝贵的时间和金钱。不均匀的膜层或过大的应力，将导致差的优良率和不合格的终端产品性能。Nano易于设定、测量快捷，通过不同位置的多点自动测量可确认整片硅表面上薄膜的准确厚度，其精度可达纳米级别。Nano卓越的测量重复性为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以精确调节刻蚀和镀膜工艺来提高产品的优良率。 |
| 2 |
测量表面粗糙度—确保材料质量
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在自动化，航空航天，医药领域等各行各业，如果需要精确测量材料表面的粗糙度，Nano是一个非常理想的检测仪器。比如在整形手术中需要植入的假体，在其背面涂覆的羟基磷灰石，它的表面粗糙度会影响假体植入到体内后的黏附性和手术效果。使用Nano快速检测材料表面的粗糙度，可以获悉晶体材料的生长是否符合工程师的要求，或者手术所需的植入体是否通过医学审核允许使用。使用Vision64软件中的数据库功能，设定合格/淘汰条件，品管人员可以轻松确定植入体是否需要再加工还是定为合格品。 |
| 3 |
太阳能电池栅线分析—降低生产成本
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在太阳能领域，Nano已被作为测量单晶和多晶硅电池上主栅、银线特征尺寸的首选设备。栅线的高度、宽度和连续性都直接影响了太阳能电池的能量传输能力。生产过程中的最佳方案是节约贵金属银的使用量，同时又保证银浆的量足够覆盖在电池板上，完成最佳的电导特性。Nano可使用线条分析功能为用户提供栅线的特征尺寸，以确保足够的银浆覆盖，导电良好。Vision64的数据分析方法和自动操作功能使这一检验核实的过程可以通过特定设置后自动完成。 |
| 4 |
微流体—确保符合设计和质量要求
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Nano是市场上唯一可以测量敏感材质上高达1mm垂直台阶的台阶仪，而且测量重复性在埃米级别。Nano为微机电系统和微流体工业的研究者提供了关键尺寸测量的可靠手段，以确保器件符合规格要求。超微力测量，Nlite+，可以保证在测量敏感材质时轻触其表面而不破坏样品表面，得到台阶高度或表面粗糙度数据。 |
世界范围内有成千上万台Nano系列产品应用于各个领域，它们以优质，可靠，高效等诸多特性而得到赞誉。人们为了得到精确无误的台阶高度和表面粗糙度信息，首选使用Nano来进行测量。台阶仪性能优劣取决于以下三方面：测量重复性,测试速度和操作难易程度，这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。Nano表面轮廓仪采用全新的仪器系统构造和最优化的测量及数据处理软件来实现可靠、快速和简易的样品检测，达到最佳的仪器使用效果。
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