NPFLEX三维表面测量仪

 

NPFLEX三维表面测量仪是针对大样品设计的非接触测试分析系统。NPFLEXTM3D表面测量系统为精密制造业带来前所未有的检测能力，实现更快的测量时间，提高了产品质量和生产力。基于白光干涉的原理，这套非接触系统提供的技术性能超出了传统的的接触式坐标测量仪（CMM）和工业级探针式轮廓仪的测量技术。

NPFLEX三维表面测量仪技术参数

测量性能	非接触测量，三维立体成像，表面粗糙度，样品关键尺寸，薄膜厚度，摩擦学
物镜	具有超常工作距离的物镜：2X, 5X, 10X,具有防护保护配件 具有标准工作距离的物镜： 1.5X, 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X； 可选投射物镜工具包；可选四位置自动塔台；
目镜	多种目镜可选：0.55X,  0.75X,  1X, 1.5X, 2X；
测量阵列	最大阵列640 ×480,   高速，逐行扫描
光源	长寿命绿光和白光发光二极管
可测样品尺寸	H = 350mm (249mm，自动样品台  ； D = 304mm； W = 304mm
样品台承重能力	50kg (110磅)
空气载物台承重能力	77kg (170磅)
光学系统	集成化电脑控制照明灯；高精度闭环垂直扫描器
电脑操作系统	Latest Dell®  PC w/flat panel  monitor,  mounted on Ergotron® mobile  workstation； Production mode,  built-in databasing with pass/fail for any parameter； Optional HDVSI, MATLAB®/TCPIP, Film Analysis, Optical Analysis and SureVision
垂直分辨率	<0.15nm
RMS 重复性	0.03nm
台阶高度	精确度0.5%；<0.12% 1σ
横向测量范围	0.1- 13.2µm
光学分辨率	0.49µm.
视场范围	7.68 ×5.76mm  max, 0.06 ×0.05mm  min.
占地面积	172cm H x 77cm D x 81cm W (67.6in. H x 30.4in. D x 32in. W)
符合标准	CE, NRTL, T-Mark, ROHS compliant, ANSI B46.1 compliant

NPFLEX三维表面测量仪技术特点

1、其灵活性表现在可用于测量表征更大的面型和更难测的角度样品

• 创新性的空间设计使得可测零件（样品）更大、形状更多。
• 开放式龙门、客户定制的夹具和可选的摇摆测量头可轻松测量想测部位。

2、高效的三维表面信息测量

• 每次测量均可获得完整表面信息,并可用于多种分析目的。
• 更容易获得更多的测量数据来帮助分析。

3、垂直方向亚纳米分辨率提供更多的细节

• 干涉技术实现每一个测量象素点上的亚纳米级别垂直分辨率。
• 工业界使用多年业已验证的干涉技术提供具有统计意义的数据，为日渐苛刻的加工工艺提供保障。

4、测量数据的快速获取保证了测试的迅速和高效

• 最少的样品准备时间和测量准备时间。
• 比接触法测量（一条线）更大的视场（一个面）获得表面更多的数据。

NPFLEX三维表面测量仪测量应用

越来越多的公司将产品的表面性质作为衡量其质量好坏的重要标准.部件的表面性质往往决定了其工作性能，使用寿命以及失效报废的各种情况。NPFLEX三维测量系统的问世， 使得广大用户仅依靠一套测量体系，就可以解决部件整个使用周期，从部件设计之初到使用过程中的故障 排除等步骤的全部表面性质检测。

	医用植体研究 骨科植入手术中，其植入物必须符合严格的医学审核要求，确保其生物相容性和耐腐蚀/耐磨损性能。通过人工髋关节的白光干涉分析，生产商能够判断植入物的表面性质，保证其边缘具有足够的粗糙度，可以与周围组织紧密结合（～2μm的粗糙度），而表面又具有足够的光滑性（～200纳米）。通过这一类的表面性质分析，可以帮助生产商改进产品，增加其在使用过程中的舒适性和安全性。
	生产过程和产品质量监控 航空航天工业中，飞机表面的起伏、裂纹、凹痕以及 毛刺都会严重影响飞机的飞行性能。NPFLEX采用开放式 取放样品，大视场扫描以及表面纹理微观性质的强大分析 功能，帮助检验飞机部件的质量和功能，提高生产效率， 严格监控产品质量，降低生产成本。
	材料失效分析 生产过程中，部件的失效分析是提高生产质量的重要指标。NPFlex卓越的测量性能，加之纳米级的超高分辨率，帮助操作人员高效灵活地完成样品表面非接触式三维形貌测量，样品安全无损，多重数据分析，获得全面准确的样品信息。结合具体的测量参数，分析样品形貌图像，就可以迅速 获得零件的全部失效分析报告。

NPFLEXTM3D表面测量系统测量优势包括获得高分辨的三维图像，进行快速丰富的数据采集，帮助用户更深入地了解部件的性能和功能。积累几十年的干涉技术和大样本的仪器设计的经验，NPFLEXTM是第一个可以灵活地测量大尺寸样品的光学测量系统，而且能够高效快捷地获得从微观到宏观等不同方面的样品信息。