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ContourGT X系列光学轮廓仪

 

ContourGT X系列光学轮廓仪是三十年技术创新后迎来的第十代全新产品。X系列光学轮廓仪所采用的干涉仪是世界上第一个包含了著名的垂直扫描干涉技术,扫描头倾斜调整,专利的自动校准和双LED照明等革新技术。ContourGT X系列既结合了这些已被证实的设计功能,又在硬件上进行了大量的改进,从而给用户提供了目前世界上最精确的、重复性最好的光学轮廓仪性能。

ContourGT X系列光学轮廓仪

ContourGT X系列光学轮廓仪技术参数

 技术规格  技术参数
名称 ContourGT-X3andX8
外形 一体式气动防震平台;
XY样品台 200mm(8in)可编程控制带编码器自
动样品台;可选300mm(12in)可编程控制带编码器自动样品台;
Z方向聚焦 计算机自动控制聚焦;可选操纵手柄
光学组件模块 最新一代双LED照明光源;自动视场目镜转台;自动滤波片切换
物镜 可共焦物镜:2.5X,5X,10X,20X,50X,100X;长焦物镜:1X,1.5X,2X,5X,10X
物镜塔台 单物镜适配器或四位置自动塔台
处理器 多核,Windows®7.0
系统软件 Vision64操作和分析软件
可选分析软件 MATLAB®,SureVision,TCP/IPControl,ThickFilm,Annular,Optical
其他自动化功能 标准自动光强设定;标准摄像头自动聚焦;标准XY自动移动功能
校准 X3:手动,使用可追溯标准样品;X8:自动且连续,使用内部参考激光信号(DMI)
Z方向扫描范围 0.1nm至10mm
最大扫描速度 X3:28.1µm/sec;X8:92.5µm/sec
最大样品重量 45kg(100lbs)
垂直方向分辨率 <0.1nm
RMS重复性 0.01nm
反射率 <0.01to100%
台阶高度测量不确定度 0.75%
台阶高度测量重复性 <0.1%1σ

ContourGT X系列光学轮廓仪技术特点

  1. 卓越的震动隔离性能:ContourGT-X光学轮廓仪配备有一体式的气动平台和双层金属铸件,此两种设计都是为了隔离震动以避免干扰测量效果,从而获得快速、精确的、可通过GRR测试的测量结果。
  2. 光学计量模块(OMM):OMM结合了Bruker专利的双LED照明光源技术,在任何样品任意放大倍数下均可提供卓越的照明强度和均匀性。OMM还能在整个10mm测量量程内提供无以伦比的准确性和可重复性。马达驱动的多放大倍率检测器可包含最大三个视场目镜,以最大化放大倍率的灵活性和稳定性。
  3. 自校准功能:ContourGT系列可选择型号中,具有包含Bruker专利技术的内置一级标准自校准功能的能力,使得闭环扫描的性能最大化。此模块包含一个参考信号,在仪器启动时对系统进行自校准,然后连续监控并校正每次测量,以保证绝对的精确度和卓越的重复性。
  4. 倾斜调整支架:Bruker的倾斜调整支架设计可使得OMM倾斜,而不是样品倾斜。这样,被测量的样品将总处于聚焦位置,并且在测量的视野中,确保了操作的一致性和简易性。这些选项仅在ContourGT-X3和/ContourGT X8型号上具有。
  5. 自动样品台:在ContourGT-X型号中具有全自动的8英寸或12英寸样品台。两种样品台均配备有0.5um重复性的编码器。ContourGT-K1型具有可选的6英寸马达驱动样品台。还可选配具有Z方向聚焦旋钮的XY操纵杆。
  6. 塔台:选配的马达驱动塔台可安装最多4个干涉物镜,从1倍至100倍。塔台设计确保了当您切换物镜时,您的测试点始终处于聚焦和中心位置。
  7. 辅助操作灯泡:在防震台的后面配备有一个LED光源以帮助样品聚焦和确保操作可观度。

ContourGT X系列光学轮廓仪

ContourGT X系列光学轮廓仪不仅具备尖端的计量技术,同时也具备强大、有良好用户界面的先进软件,满足特殊测量要求的能力。新的 Vision64™ 操作和分析软件具有业界最全功能,流程化图形用户界面,结合智能化数据结构,具有直观 可视工作流程和广泛的用户定义自动化功能, 可快速而全面地数据采集和分析。

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